ด้วยการพัฒนาของอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ของจีน การพัฒนาส่วนประกอบสำคัญสำหรับอุปกรณ์ในกระบวนการผลิตได้กลายเป็นข้อจำกัดที่สำคัญในการพัฒนาอุปกรณ์ เนื่องจากการเรียกร้องให้มีการแปลเทคโนโลยีเซมิคอนดักเตอร์ภายในประเทศเพิ่มมากขึ้น เทคโนโลยีคอขวดในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ก็จะเพิ่มมากขึ้นเรื่อยๆ จากประสบการณ์หลายปีในอุตสาหกรรมเซมิคอนดักเตอร์ บริษัทของเราได้พัฒนาเซอร์โวมอเตอร์-เพลาสูง-แบบกลวงสำหรับการดูดซับเวเฟอร์ในการเคลือบเซมิคอนดักเตอร์ การพัฒนา และอุปกรณ์ทำความสะอาด มอเตอร์นี้มีคุณสมบัติการเร่งความเร็วสูง ช่วงความเร็วที่กว้าง และการตอบสนองที่สูง และได้รับการยกย่องอย่างกว้างขวางจากลูกค้าในอุตสาหกรรม
การใช้งานเซอร์โวมอเตอร์เพลากลวง-:
อุปกรณ์รับแสงและการพัฒนา (การเคลือบ การพัฒนา): อุปกรณ์หลักสำหรับกระบวนการถ่ายภาพหิน การควบคุมการเคลือบ การเปิดรับแสง และการพัฒนา
อุปกรณ์ทำความสะอาด เคลือบ พัฒนา และถอดฟิล์ม
เหมาะสำหรับการทำความสะอาดแบบล้างทางกายภาพ การทำความสะอาดอนุภาค และกระบวนการพ่น
ข้อมูลจำเพาะของผลิตภัณฑ์เซอร์โวมอเตอร์เพลากลวงและพื้นที่การใช้งาน:
750 วัตต์/1,000 วัตต์ – 5,000, 6,000 รอบต่อนาที
รูปแบบการใช้งาน (รุ่น{0}ระดับสูง):
อุปกรณ์เซมิคอนดักเตอร์ขนาด 8 นิ้วและ 12 นิ้ว
กระบวนการต่างๆ เช่น การเคลือบ การพัฒนา การทำความสะอาด และการแกะสลัก
ความเร่งสูงสุดสามารถสูงถึง 50,000 R/S² การเร่งความเร็วทันที
การออกแบบปลายเพลาแบบพิเศษช่วยให้มั่นใจได้ถึงค่าสัมประสิทธิ์การเบี่ยงเบนหนีศูนย์ที่ปลายเพลาต่ำที่สุด
